9号館 1階フロア
9号館主要設備
●コンビナトリアル蒸着機
●蒸着装置(クラスター)
●量子収率測定装置
●蒸着装置(クラスター)
●量子収率測定装置
●蒸着装置(インライン)
●蒸着装置(マルチ)
●蒸着装置(マルチ)
10号館 5階フロア
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10号館主要設備
●X線回折装置（103）
●走査型電子顕微鏡（103）
●面取り機（104）
●原子間力顕微鏡(AFM)（306）
●高速液体クロマトグラフィー（409）
●高真空昇華精製装置（410W）
●蒸着装置(EO-5)（410E）
●発光スペクトル（501）
●質量分析測定装置（501）
●赤外・可視吸収スペクトル（501）
●熱重量測定（501）
●輝度-電流測定（507）
●スパッタ装置（510W）
●蒸着装置(ガラスチャンバー)（510E）
●1F_CR ALS
●1F_CR_三郎
●1F_CR_二郎
●1F_測定室_AC-3
●1F_測定室_ESR
●1F_測定室_PYS
●スクライバー（104）
●走査型電子顕微鏡（103）
●配向測定装置（301）
●ゲル浸透クロマトグラフィー（409）
●デジタルマイクロスコープ（410E）
●昇華精製装置（410W）
●キャリア飛行時間測定（501）
●示差走査熱量測定（501）
●真空熱重量測定装置（501）
●赤外吸収スペクトル（501）
●分光エリプソメーター（501）
●寿命測定装置（507）
●DEKTAK（510E）
●GB（510W）
●4F_410W_昇華精製機
●4F_409_分取GPC
●4F_409_HPLC
●1F_CR_太郎
●1F_測定室_XRD
●真空蒸着装置_Sイノベ（510W）
